高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試
RF系列多孔金屬限流器采用高純316L不銹鋼燒結技術制造，適用于高壓、高流量、超高純氣體輸送系統。當氣體管線破裂、閥門異常或調壓器失效時，它能自動限制過量氣體瞬間噴出，有效保護氣路系統安全，避免工藝中斷或設備損壞。
?●? 通用于半導體、光電、氫能源、工業氣體、真空系統等高要求工況
?●?安裝于VCR接頭、壓縮氣體管路、氣體分配歧管中
?●? 支持≤9N(99.9999999%)高純氣體
?●?抗堵塞、無需維護，可定制不同流量
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2. 產品結構與工作原理
?● ?內部為燒結多孔金屬結構，形成精密氣阻通道
?●?正常運行：氣體平穩通過，形成層流
?●?管路破裂/瞬時壓力驟降：氣體迅速通過限流器被限制輸出，保護后端系統
?●?過濾+限流雙功能，不產生顆粒污染
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3. 產品特點
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| 結構緊湊 | 結構緊湊，占用空間小，可直接安裝于VCR 1/4~1/2接口 |
| 可定制流量 | 通過更換限流芯/氣阻配件，可調節不同流量（1~5000 sccm） |
| 控制穩定 | 流量控制精準可靠，適用于穩定與突變環境 |
| 高溫高壓可用 | 適用于 ≤500℃、≤30 MPa 環境，耐高溫不變形 |
| 不堵塞 | 多孔結構均勻分布，確保氣體層流，不易堵塞 |
| 材料安全 | 316L不銹鋼，顆粒脫落 <0.003 mg/m3，通過100%氨氣泄漏測試 |
| 壽命長 | 燒結結構無焊點、不老化，壽命長 |
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?4. 應用行業與典型場景
?●??半導體氣體輸送(硅烷、氨氣、氫氣、氬氣)
?●?光伏薄膜沉積、OLED鍍膜設備
?●?高純氣體鋼瓶壓力調節保護
?●? 氫燃料電池系統安全防泄放
?●? 真空腔體氣體緩釋、排氣系統限流
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5. 技術規格參數
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| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 |
| 流量范圍 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作壓差 | 1500psig |
| 精度 | +7.5% Base | 可重復性 | ±0.1% |
| 最高使用溫度 | 460℃ | 氦氣泄漏率 | 1×10-9cc/min |
| 密封面尺寸 | 1/4″‘VCR | ? | ? |
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?6. 常見問題（FAQ）
?Q1：限流器和過濾器有什么區別？
?A：限流器側重限制瞬時氣體泄放量，防止爆沖;過濾器用于去除顆粒，兩者可合一結構存在。
?Q2：可以用于氨氣、硅烷這種腐蝕性或易燃氣體嗎？
?A：可以，材料為316L或鎳基合金，提供特殊拋光與清洗處理，滿足半導體級氣體要求。
?Q3：堵塞后是否可以清洗？
?A：支持超聲波清洗或氮氣反吹，大多數情況下無需更換。
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